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田中邦翁

所属・職
物質生命理工学科 准教授

研究分野

プラズマ化学

対応分野キーワード

固体表面改質,薄膜堆積,プラズマ処理,大気圧グロープラズマ

対応業務

プラズマを用いた固体表面処理と薄膜形成

対応形式

依頼講演
技術相談
委託研究

主な研究設備

X線光電子分光装置

所属学会

応用物理学会

カテゴリ
研究者-応用化学系
キーワード